반도체 산업의 칩 제조 작업장을 위한 클린룸 표준

1. 클린룸 등급 기준

클린룸의 등급은 보통 공기 중에 허용되는 입자의 수와 크기에 따라 나뉜다.ISO 14644는 보통 국제적으로 등급 분류를 위해 사용된다.이 기준에 따르면 클린룸의 등급은 ISO 1-9:high에서 low로 나뉜다.

클린룸 표준은 특정 산업 및 애플리케이션에 따라 다를 수 있다는 점에 유의해야 합니다.반도체 칩 생산에서 클린룸에 대한 표준 요구 사항은 일반적으로 생산된 칩의 품질과 성능이 기대치를 충족하는지 확인하기 위해 더 엄격합니다.

클린룸 등급은 다음과 같이 나눌 수 있다:1>학년 10>학년 100>학년 1000>학년 10000>학년 300000다.

Grade 1 클린룸은 집적회로를 제조하기 위한 마이크로전자 산업에서 주로 사용되며,집적회로에 대한 정밀도 요건은 서브마이크론이다.

10 등급 클린룸은 2 미크론 미만의 대역폭으로 반도체 산업에서 주로 사용됩니다.

100 등급 청결은 널리 적용 가능하며 대부분의 산업의 청결 요구를 충족시킬 수 있습니다.제약 산업의 무균 제조 기술에 사용될 수 있습니다.이 클린룸은 세균 감염에 특히 민감한 환자의 격리 치료뿐만 아니라 이식 및 통합기 제조를 위한 수술에 사용할 수 있습니다.

클래스 1000 클린룸은 주로 미세한 광학 제품을 생산하는 데 사용되며, 항공기 자이로스코프 테스트 및 조립, 미세 마이크로 베어링 조립 등에도 사용됩니다.

Class 10,000 클린룸은 유압 장비나 공압 장비의 조립에 사용될 수 있으며, 경우에 따라 식음료 산업에도 사용됩니다.또한, Class 10,000 클린룸은 의료산업에서도 널리 사용되고 있습니다.

2. 안전 고려사항

반도체 클린룸의 장식은 안전 요구 사항을 충족해야 합니다.일반적으로 반도체 클린룸에는 인화성, 폭발성 물질이 많으므로 장식중에 화재방지, 폭발방지 등 관련 국가안전규정을 지켜야 한다.이밖에 환경오염과 직원의 건강과 안전도 고려해야 하는데 장식재료가 국가표준에 부합되고 인체건강에 위해를 주지 않도록 해야 한다.

3. 청정실 공기처리 시스템 (Cleanroom air treatment system

반도체 연구작업장 공기의 청결을 보장하기 위해 공기 처리 시스템이 필요합니다.공기 처리 시스템은 주로 공기 필터, 공기 공급 시스템, 반환 공기 시스템 및 배기 시스템으로 구성됩니다.그 중 공기 필터는 공기 중의 입자상 물질과 미생물을 효과적으로 제거할 수 있는 중요한 부품이다.

4. 바닥, 벽 및 천장 장식

반도체 클린룸 장식에서 바닥, 벽, 천장의 장식은 매우 중요한데 이러한 부분은 오염에 취약하기 때문이다.바닥은 에폭시 자체 레벨링 바닥 또는 PVC 플라스틱 바닥과 같이 내습성, 정전기 방지 및 청소가 쉬운 소재로 만들어야합니다;벽 및 천장은 알루미늄 등 내식성 · 정전기 방지 및 청소가 용이한 재질로 하여야 한다 샌드위치 패널, 스테인레스 스틸 패널, 유리 커튼 월 등.

5. 램프 및 소켓과 같은 전기 장비의 배치

반도체 클린룸 장식에서 램프와 소켓의 배치도 매우 중요하다.작업장에 먼지 및 미생물 등의 오염물질이 유입되는 것을 방지하기 위하여 이러한 장치를 천장 또는 벽높이 이상으로 설치하고 정전기 방지 및 가루가 떨어지지 않는 재질을 선택하여야 한다.

6. 문, 창문, 청소 작업대 및 기타 시설

반도체 클린룸 장식에서,청정 실 문, 청정 실 창문, 깨끗한 작업대 및 기타 시설 또한 특별한 고려가 필요합니다.문과 창문은 스테인레스 스틸 문과 창문과 같이 밀봉 성능이 좋고 청소가 쉬운 재료로 만들어야합니다;청정작업대는 스테인리스강 작업대와 같이 분말, 슬래그 입자를 떨어뜨리지 않고 내식성 및 청소가 용이한 재료로 하여야 한다.