의 라고도 하는 팬 필터 장치 FFU, 자가 전원 필터 정화 장치이며, 주로 팬과 고효율 필터로 구성된 터미널 청정 장비입니다.
주요 업무 Process
공기 (신선한 공기)는 에어컨 프로세서에 의해 필요한 상태로 처리된 다음, 정압박스로 보내져 반송된 공기와 혼합된 다음, FFU 팬에 의해 가압된 다음, high efficiency filter (HEPA) 또는 ultra high efficiency air filter (ULPA))를 통과하여 여과되어 클린룸으로 보내진다;원래의 오래된 바람은 상승된 바닥이나 측벽을 통해 다시 건식 코일로 이송되고, 건식 코일에서 냉기 (가열) 된 후, 이것이 전체 클린룸 공기 여과 사이클을 완료하는 리턴 프레스에 의해 다시 정압으로 보내집니다.
이러한 시스템은 대형 집적 회로 웨이퍼, TFT 디스플레이, 솔리드 스테이트 드라이브 및 기타 전자 클린룸 생산과 같이 클린룸에 대한 초정음 요구 사항이 있는 장소에서 가장 일반적으로 사용됩니다.
FFU 기능
1.모듈식 장비, 위치는 필요에 따라 조정할 수 있습니다
클린룸의 벽 패널은 천장 그리드의 모듈에 따라 배열되고, 특별한 노드 구조로 인해 클린룸의 벽 패널은 언제든지 조정하여 작업장의 생산 요구 사항에 맞게 룸 배치를 변경할 수 있습니다.따라서 룸 레이아웃을 조정할 때 FFU의 위치를 조정함으로써 특정 장소의 청결 요구도 충족시킬 수 있습니다.FFU는 자체 동력을 갖춘 모듈형 정화 장비입니다.그것은 너무 많은 장소에 의해 제한되지 않는다.특정 장소의 청결 요구 사항을 보장하기 위해 언제든지 위치를 조정하거나 숫자를 늘리거나 줄일 수 있습니다.이것은 이전의 중앙 집중식 공기 공급 시스템으로는 달성되지 않습니다.
2. 바람은 균일하고 안정적이다
특수한 공기 순환 채널을 선정하고 현재의 공유 시스템을 갖춘 설계로 풍속이 균일하고 안정적이다.이는 이전의 중앙 집중식 급기 시스템과 비교하여 각 급기 포트의 불균형한 공기량 문제를 방지할 수 있습니다.
3. 컴퓨터 제어, 상당한 에너지 절약 효과
FFU 시스템의 공기 도관 수는 매우 적습니다.통기도관으로 수송해야 하는 신선한 공기를 제외하고 대량의 회송공기를 작은 주기로 운행하므로 통기도관의 저항이 크게 감소되여 소모량이 감소된다.또한 FFU의 표면풍속은 일반적으로 0.45±20% 균일한 출력이기 때문에 필터를 통과하는 공기의 저항이 감소된다.
FFU 팬 필터 유닛의 팬 파워는 매우 작습니다.대부분 고효율 AC 모터를 사용한다.동시에 팬 임펠러의 형상도 개선되며, 재질은 먼지가 재생되지 않도록 대부분 알루미늄 합금으로 만들어져 전체 효율이 크게 향상됩니다.기존의 중앙 집중식 공기 공급 방식과 비교해 FFU 에어 필터를 사용하면 40% 이상의 에너지를 효과적으로 절약할 수 있습니다.따라서 FFU 시스템 비용이 초기 단계에서는 상대적으로 높지만, 이후 유지보수와 에너지 소비에서 잘 절약할 수 있다.
4. 공사 기간을 단축하다
FFU 팬 필터 유닛의 공기 공급 시스템은 중앙 집중식 공기 공급과 같은 거대한 반환 공기 덕트가 필요하지 않기 때문에 바닥 높이가 좁은 일부 클린룸 재건 프로젝트에 매우 적합하며, 주요 이유는 공기 덕트가 필요하지 않아 시공 및 설치 기간이 크게 단축됩니다.기업 입장에서는 공사 기간을 단축하고 빠르게 공사를 시작해 이익을 가져올 수 있다.
5. 음압환기 (Negative pressure ventilation)
FFU 팬 필터 유닛 자체가 정압을 제공할 수 있기 때문에 공기 공급 정압 상자는 클린룸에 비해 음압이며 공기 공급 정압 상자의 입자는 더 이상 압력을 받지 않고 청정 지역으로 유출됩니다.
따라서 튜예르가 잘못 설치되어 누수 문제가 발생하더라도 클린룸에서 공기 공급 정압 박스로 누출되므로 밀링이 더욱 간단하고 안전해집니다.
6. 운영 비용 절감
장비 선택시 에어덕트 환기에 비해 초기 자금 투입이 높지만, 에너지 절감과 후반 운용시 유지보수가 필요 없는 등 뛰어난 특징이 있다.
7. 환기
이것이 그것의 독특한 특징이다.정압을 제공 할 수 있기 때문에 공기 공급 정압 박스는 세척 공장에 대 한 음압을 갖는다.이러한 방식으로 정압 상자의 입자가 압력을 받아 세척 영역으로 새지 않아 밀봉이 간단하고 안전합니다.
8. 유연성을
팬 필터 장비는 자체 전원으로 지역의 제한을 받지 않습니다.거대한 청소 작업장에서는 필요에 따라 구역별로 제어 될 수 있습니다.유연성은 이러한 조정을 쉽게 만듭니다.
9. 에어 덕트 전환 시스템을 설치하여 소음과 압력 손실을 줄이고 팬의 사용 수명을 늘리며 팬의 효율을 향상시킵니다.
10. 이론적으로 잠시 사용하지 않는 장비는 꺼내서 밀봉하고 제대로 보관하면 재활용이 가능하다.
11. 청결도가 1-1000인 클린룸에 적합하며, 특히 초청정 생산 라인을 조립하는 데 적합합니다.공정의 필요에 따라 단일 또는 다중 용도로 구성할 수도 있고, 여러 대를 직렬로 연결해 100 레벨 조립라인을 구성할 수도 있다.
12. FFU 팬 필터 유닛은 다양한 방법을 사용하여 속도를 제어할 수 있으며, 작동 전력 필터 소모량이 극히 낮아 비용을 효과적으로 절감할 수 있습니다.
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